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Modulbeschreibung

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Mikrosensoren und Mikroelektronik

Inhalt

  • Mikrotechnologien und Aufbau- und Verbindungstechnik

  • Mikrosensoren und mikroelektronische Komponenten (Aufbau und Funktionsweise)

  • Signalverarbeitung in der Mikrosensorik

  • Mikrofluidik und Skalierung

  • Anwendungen in der Mechatronik und Medizintechnik

Lernergebnisse

Nach erfolgreichem Abschluss des Moduls können die Studierenden

Fachkompetenz:

  • Fertigungstechnologien von Mikrokomponenten verstehen und beurteilen

  • Die Funktionsweise von Mikrosensoren erklären und selbständig Mikrosensoren konzipieren und spezifizieren

  • Prinzipien für die Signalverarbeitung unter Beachtung gegebener Randbedingungen entwickeln

  • Die Grundlagen der Fluidik verstehen und insbesondere deren Skalierung bewerten

  • Mikrosensoren für Problemstellungen in der Mechatronik / Fahrzeugtechnik und Medizintechnik beurteilen und anwenden

Methodenkompetenz:

  • Skalierungsgesetze für Mikrokomponenten entwickeln und bewerten

  • Lösungsansätze für neuartige Sensoransätze selbständig entwickeln und beurteilen

  • Auslegung von Mikrosensoren unter verschiedenen Randbedingungen

Sozial- und Selbstkompetenz:

  • Erarbeiten von Mikrotechnologien in Teams innerhalb eines Reinraumpraktikums

ECTS

5 Punkte

Studien- und Prüfungsleistungen

Prüfungsleistungen:
  • Mikrosensoren und Mikroelektronik (90 min, Klausur)
Studienleistungen:
  • Mikrosensoren und Mikroelektronik (Laborarbeit)

Lehr- und Lernformen

  • Mikrosensoren und Mikroelektronik (3 SWS, Vorlesung)
  • Mikrosensoren und Mikroelektronik (1 SWS, Labor)

Studiengänge

  • Mechatronik(MC) - Alternative Course Module
  • Medizintechnik(MT) - Alternative Course Module

Modulverantwortliche

Prof. Dr.-Ing. Thomas Walter

Literatur

W.Menz, J.Mohr, O.Paul. Mikrosystemtechnik für Ingenieure. , 2005.
U. Hilleringmann. Silizium-Halbleitertechnologie. , 2004.
A.Manz. Microsystem Technology in Chemistry and Life Sciences. , 1999.
T.Walter. Manuskript Mikrosystemtechnik.

Quicklinks