Lernergebnisse
Nach erfolgreichem Abschluss des Moduls können die Studierenden
Fachkompetenz:
Fertigungstechnologien von Mikrokomponenten verstehen und beurteilen
Die Funktionsweise von Mikrosensoren erklären und selbständig Mikrosensoren konzipieren und spezifizieren
Prinzipien für die Signalverarbeitung unter Beachtung gegebener Randbedingungen entwickeln
Die Grundlagen der Fluidik verstehen und insbesondere deren Skalierung bewerten
Mikrosensoren für Problemstellungen in der Mechatronik / Fahrzeugtechnik und Medizintechnik beurteilen und anwenden
Methodenkompetenz:
Skalierungsgesetze für Mikrokomponenten entwickeln und bewerten
Lösungsansätze für neuartige Sensoransätze selbständig entwickeln und beurteilen
Auslegung von Mikrosensoren unter verschiedenen Randbedingungen
Sozial- und Selbstkompetenz:
Literatur
W.Menz, J.Mohr, O.Paul. Mikrosystemtechnik für Ingenieure. , 2005.
U. Hilleringmann. Silizium-Halbleitertechnologie. , 2004.
A.Manz. Microsystem Technology in Chemistry and Life Sciences. , 1999.
T.Walter. Manuskript Mikrosystemtechnik.
